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分解产物：SO2（+SOF2）：±0.3µl/l、H2S：±0.3µl/l、CO：±2µl/l、HF：±0.3µl/l、CF4(选配)：±4µl/l、H2(选配)：±1µl/l
纯度精度：±0.1%、分解产物：SO2（+SOF2）：±0.3µl/l、H2S：±0.3µl/l、CO：±2µl/l、HF：±0.3µl/l、CF4(选配)：±4µl/l、H2(选配)：±1µl/l
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测量范围:
不限
分解产物：SO2（+SOF2）：0～100µl/l（可选配0~200µl/l）（可增配0~2000µl/l）、H2S：0～200µl/l、CO：0～500µl/l（可选配0~1000µl/l）、HF：0～10µl/l、CF4(选配)：0～2000µl/l、H2(选配)：0～100µl/l
纯度：0 ～ 100 %、分解产物：SO2（+SOF2）：0～100µl/l（可选配0~200µl/l）（可增配0~2000µl/l）、H2S：0～200µl/l、CO：0～500µl/l（可选配0~1000µl/l）、HF：0～10µl/l、CF4(选配)：0～2000µl/l、H2(选配)：0～100µl/l
更多
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